发布者：李向阳发布时间：2024-12-17浏览次数：13
高精度紫外光刻机
该仪器采用手动操作，掩模版尺寸达5英寸，基板尺寸为4英寸圆形，均匀性光束尺寸125mm圆，使用UV光源UVLED，光束波长365 nm，强度~20 mW/cm^2.
