电子束真空镀膜仪

电子束真空镀膜仪

       该系统为电子束蒸发镀膜的方式，加热采用的是电子束加热，可以蒸镀难熔金属和非金属。而且由于被蒸镀的材料是放在水冷坩埚内，因此可以避免容器材料的蒸发以及容器材料与膜材之间的反应，熔炼过程中的污染很小，是实验室熔炼难熔的金属与非金属的理想设备，也可用于小批量，高精度薄膜材料制备工作。