发布者：李向阳发布时间：2024-12-17浏览次数：14
感应耦合等离子刻蚀机
刻蚀的材料主要有Si、SiNx、SiO2、Ge、GeSi等;有机物、III-V族半导体（砷化镓、磷化铟等）、蓝宝石、SiC、金属(Au、Ag、W)等，射频电源上电极RF1000W，下电极 PF500W，主要用于微电子、光电子、通讯、微机械等领域的器件研发和制造
